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◆ 系統組成
☆ 氣體凈化分離系統由凈化單元和分離單元組成。
◆ 技術特點
☆ 凈化單元可將氪氙混合氣濃度從0.3%提純到99.99999%?？蓪⒓兌葹?0%的氖氦混合氣提純到99.99996%以上。
☆ 分離單元可將高純氪氙或高純氖氦氣體在一定條件下分離開，得到高純的單質氣體。
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